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产品名称: 水洗式尾气处理器

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产品描述
参数

水洗式尾气处理器利用水吸收处理尾气的方式,对半导体工艺制程中产生的尾气进行处理,达到国家排放标准后进行排放。同时,对于部分气体还可以进行回收处理,如NH3,HCL等。
该设备处理尾气时,效率高,最高效率可达到98%;原材料成本低,仅需要水即可;吸收后生成的氨水可回收,等特点。

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