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水洗式尾气处理器利用水吸收处理尾气的方式，对半导体工艺制程中产生的尾气进行处理，达到国家排放标准后进行排放。同时，对于部分气体还可以进行回收处理，如NH3，HCL等。 该设备处理尾气时，效率高，最高效率可达到98%；原材料成本低，仅需要水即可；吸收后生成的氨水可回收，等特点。
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