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电加热水洗式尾气处理器可以用来处理半导体工艺中产生的有毒气体。其主要原理是先通过加热高温裂解，然后在通过水洗处理的方式对尾气进行处理，使其达到国家排放标准。该设备对于一些有毒气体，特别是针对易燃气体如SIH4，B2H6等，其处理效果非常好。 设备装有多重安全设施，可用于半导体行业各种工艺后尾气处理。
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