产品与服务
- 产品描述
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可安装于Sub-Fab或邻近CMP设备区域
满足研磨液混酸与供应需求
功能设计:
冗余之泵浦与桶槽设计,提供不间断的混和/供应功能
冗余之过滤器设计,可不中断系统供应下进行滤心更与维护
导电度计检测混酸品质
高精度H202 磅秤,提供更高的混酸质量
双原物料桶与双泵浦设计,确保原物料不中断供应
Bar Code 功能为原物料来源把关
提供可输出至SCADA的功能接口,可在SCADA监控机台状况原物料桶可配备电动搅拌机,避免研磨液沉淀结块
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